霍尼韋爾氣體探測器在半導體制造行業(yè)的選擇,在剛剛結束的兩會(huì )期間,“新質(zhì)生產(chǎn)力”成為熱議話(huà)題。映射到半導體領(lǐng)域,半導體產(chǎn)業(yè)作為現代科技的重要支柱,是發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力的重要驅動(dòng)因素。在政策驅動(dòng)以及市場(chǎng)需求升級的大背景下,半導體產(chǎn)業(yè)迎來(lái)嶄新的發(fā)展機遇,同時(shí)也面臨諸多挑戰。

在半導體制造行業(yè)中,半導體的生產(chǎn)工序十分繁復,包括光刻、刻蝕、離子注入、薄膜沉積、清洗等工藝流程,涉及到的特種氣體約50余種,不乏有毒有害氣體如PH3、HF、AsH3等,一旦泄漏將對人員和財產(chǎn)造成不可估量的損失,有毒氣體探測成為半導體行業(yè)安全生產(chǎn)的挑戰之一。

半導體制造工廠(chǎng)通常設置有生產(chǎn)區、倉儲區、動(dòng)力輔助區、氣體站等,在超高純特氣管道系統的輸送以及存儲過(guò)程中、半導體的生產(chǎn)加工以及尾氣排放等流程中,均應密切監測有毒氣體濃度,確保人員財產(chǎn)安全。

為了滿(mǎn)足不同場(chǎng)景的檢測需求,霍尼韋爾擁有豐富的產(chǎn)品線(xiàn),通過(guò)先進(jìn)技術(shù)和設備精準布局,可以在各個(gè)階段提供出色的氣體安全保護,來(lái)看看霍尼韋爾有哪些氣體探測器吧!

Midas氣體探測器:

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Midas系列是適用于半導體工業(yè)及其它一般工業(yè)所使用的有毒氣體以及可燃氣體的高靈敏、高可靠度的氣體探測器。

Midas系列基于電化學(xué)原理,ppm百萬(wàn)分之一級別氣體偵測,廣泛覆蓋40多種氣體,最長(cháng)可達30米采樣距離。它包含單點(diǎn)、四合一和防爆型多種型號氣體探測器,擁有較長(cháng)的免校準周期、靈活的通訊模式、操作輕松、維護便捷,大大降低了氣體探測所需要的成本。

Vertex C有毒氣體檢測系統:

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集結了眾多工業(yè)設計巧思的Vertex C有毒氣體檢測系統,同樣在半導體、太陽(yáng)能光伏等高科技產(chǎn)業(yè)中廣受好評。它最多可以支持96點(diǎn)的氣體偵測,偵測點(diǎn)采樣流量達到2.2LPM。

搭載霍尼韋爾首創(chuàng )的Chemcassette技術(shù),Vertex C有毒氣體檢測系統的精確度高達十億分之一(ppb),氣體泄漏響應迅速,危險無(wú)處遁形!

Vertex VC4有毒氣體檢測儀:

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同樣搭載Chemcassette紙帶氣體偵測技術(shù)的還有Vertex VC4有毒氣體檢測儀,它設置有4個(gè)檢測點(diǎn)的氣體檢測系統,可連續同時(shí)偵測四個(gè)點(diǎn)位,采樣距離可達120米,每個(gè)測點(diǎn)的采樣流量達到2.8LPM,可滿(mǎn)足最新的臺灣地區EPA要求。

除此外,它還采用高效的模塊化設計,小巧的機體使用戶(hù)操作和維護更加便捷。